在多晶硅产品生产中，硅芯是原生硅生长的载体，原生硅成品棒是通过硅芯的导电性能使其在高温下通过化学气相沉积法生长而形成的。所以，硅芯质量会直接影响原生硅成品棒的质量。硅芯的制备方法主要有区熔法拉制圆硅芯和机械加工硅棒再制成方硅芯。
传统的区熔法拉晶炉可一次性拉制圆硅芯，所拉制圆硅芯的规格一般为Φ8 mm×2200 mm～Φ8 mm×2400 mm，一次出硅芯的数量从之前的几根到现在的十几根不等。该种拉晶炉存在的局限性主要有：操作熟练度要求高；一次成型，弯曲度不可控；需单独拉制连接圆硅芯时所用的横梁、桥；一次硅芯出炉数量有限；总体能耗高等。
普通的机械加工硅棒制成方硅芯采用的是直拉法拉晶炉，其可拉制圆硅棒，然后机械加工成方硅芯。拉制的硅棒直径一般为Φ120～180 mm、长度为2200～2400 mm，切割成的方硅芯规格主要有14 mm×14 mm、15 mm×15mm、16 mm×16 mm 等。
与传统方式相比，本文介绍的新型拉晶炉采用的是直拉法，具有投料量大、硅棒直径大、长度长、产能高等优点。虽然目前切割方硅芯的成本相对较高，但方硅芯具有相对表面积大、规格统一、弯曲度可控等优点。因此，新型拉晶炉拉制硅棒，然后机械加工成方硅芯的方式具有潜在优势，其取代传统区熔法拉晶炉拉制圆硅芯已成为必然趋势。
1 新型拉晶炉的结构特点
图1 为新型拉晶炉结构图，其主要由坩埚、坩埚轴、电极柱、侧加热器、底加热器、导流筒及保温组件等部件组成
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